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集中供液系统

所属类别:太阳能硅片清洗行业
产品特点: 1、用于半导体RCA工艺和SiC晶圆片工艺的清洗、腐蚀和干燥。 2、多轴移载式机械手,运行平稳可靠,工作效率高。 3、采用高频超声波清洗,提高硅片表面洁净度。 4、采用石英、PVDF及PP等材质的槽体,满足不同的清洗药液。 5、采用非接触是加热,确保品质的和安全。 6、配有药液恒温循环系统。 7、自动酸碱度配比功能。
详细内容

集中供液系统

Concentrate on the liquid system


产品主要特点:

1、主要用于液体的集中供应和管理。

2、设计独立的药液供应房。

3、设有漏液检测装置和报警装置。

4、采用双层结构管路设计,内管为PFA管,外管为透明PVC管,确保安全。

5、配备独立的电气控制柜和操作箱,确保电气元器件的安全。


Features:

1、Mainly used for centralized supply andmanagement of liquids.

2、Design independent liquid medicine supply house.

3、Provided with leakage detection device and alarm device.

4、The design of double-layer structure pipeline is adopted,with the inner tube of PFA and the outer tube of transparent PVC to ensure safety.

5、Equipped with independent electrical control cabinet and operation box to ensure the safety of electrical components.

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